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浸式光刻系统是世台积电林工程师的建议，被投入巨资研舊f2准分激光器的尼康佳等光刻机光源专嗤鼻，l冒险采纳了这个建议，攻克了光刻机193波长的世界铏光难题，产了全球一台浸式光刻机，一举名！
属留偏袒一方的柄，避免秋算账，他告诉余建，他将入股蔡司公司，解决光系统的难题，相信余建邓辉知公司急需什技术？处在优势位置，在谈判桌上，不吃亏。
有了世界一的rf准分激光器专利技术的终身授权，bc光源厂合法产rf准分激光器（不售转让专利技术），邓辉团队在研舊透了rf准分激光器的基础上，始研rf准分激光器，提研制193浸式光刻机，一旦研制功，bc必将脱胎换骨。
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属留偏袒一方的柄，避免秋算账，他告诉余建，他将入股蔡司公司，解决光系统的难题，相信余建邓辉知公司急需什技术？处在优势位置，在谈判桌上，不吃亏。
有了世界一的rf准分激光器专利技术的终身授权，bc光源厂合法产rf准分激光器（不售转让专利技术），邓辉团队在研舊透了rf准分激光器的基础上，始研rf准分激光器，提研制193浸式光刻机，一旦研制功，bc必将脱胎换骨。